TURBOVAC 90 i/iX
| Pumping speed (Ar): | 83 l/s |
| Pumping speed (He): | 90 l/s |
| Pumping speed (H₂): | 78 l/s |
| Pumping speed (N₂): | 90 l/s |
TURBOVAC 90 i/iX
터보분자 진공 펌프(TURBOVAC)는 연구, 개발 또는 반도체 산업, 분석 기기 또는 코팅 기술과 같은 산업 분야와 같이 깨끗한 고진공 또는 초고진공을 필요로 하는 응용 분야에서 사용됩니다.
작동 원리
터보 분자 펌프는 원칙적으로 터빈의 로터 스테이지가 하우징 안에서 빠르게 회전하는 터빈입니다. 터보 분자 펌프의 단면도(TURBOVAC i)에는 여러 개의 로터 블레이드가 장착되어 있습니다. 회전하는 로터 블레이드 사이에는 블레이드가 반대 방향으로 배열된 고정자 디스크가 있습니다. 회전하는 로터 블레이드에서 기체 분자로의 운동량 전달을 통해 초기의 무방향 열 운동이 펌프의 입구 플랜지에서 축 방향으로 전진공 플랜지를 향한 방향 운동으로 변경됩니다. 분자 흐름 범위(즉, 10-3 mbar(0.75 x 10-3 Torr) 미만의 압력에서)에서는 기체 분자의 평균 자유 경로가 로터와 고정자 블레이드 사이의 간격(일반적으로 수십 밀리미터)보다 큽니다. 이에 따라 분자는 주로 광학적으로 밀도가 높은 로터 블레이드와 충돌하여 매우 효율적인 펌핑 동작이 이루어집니다. 층류 범위(즉, 10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr) 이상의 압력에서)에서는 분자 자체의 잦은 충돌로 인해 로터의 효과가 저하됩니다. 이러한 이유로 터보 분자 펌프는 대기압에서 가스를 펌핑할 수 없습니다.
로터 베어링
Leybold는 다양한 로터 베어링 시스템을 제공합니다. 순수하게 전통적인 기계식 로터 베어링(TURBOVAC) 또는 자기식 로터 베어링(TURBOVAC MAG), 그리고 전진공 쪽 베어링은 평생 윤활되는 세라믹 볼 베어링이고 고진공 쪽 베어링은 마모되지 않는 자기식 베어링으로 구현된 하이브리드 베어링(TURBOVAC i / iX)이 그 예입니다. 이러한 모든 유형의 베어링은 펌프가 정지한 상황에서 펌프 작동이 없어 진공실로 다시 확산될 수 있는 윤활유가 필요하지 않다는 것이 일반적입니다.
구동 전자 장치/제어 장치
터보 분자 펌프를 구동하고 모니터링하려면 전자식 주파수 변환기(인버터)가 필요합니다. 주파수 변환기는 모터의 구동 전압과 출력 주파수를 전달하고 시스템을 자동으로 모니터링합니다. 펌프 로터의 최적 가동은 전압 및 주파수 공급을 꾸준히 증가시킴으로써 달성할 수 있습니다. 공칭 속도에 도달하면 시동 전류가 정상 작동에 필요한 수준까지 제어 방식으로 감소합니다.
TURBOVAC의 주파수 변환기와 모터는 높은 흡기 압력에서도 속도 저하를 최소화하도록 설계되었습니다. 이를 통해 분자 흐름에서 점성 흐름으로의 전환 범위에서도 가능한 최고의 가스 처리량을 보장합니다.
주어진 시스템 및 설치 조건에 따라 제어 유닛은 기존 설비에 쉽게 통합할 수 있는 다양한 옵션 액세서리로 보완할 수 있습니다.
전진공 펌프
터보 분자 펌프는 대기압에 대해 직접 압축할 수 없으므로 작동 시 항상 충분한 정격의 전진공 펌프가 필요합니다. 로터 블레이드가 있는 고전적인 로터 배열의 경우 일반적으로 2단계 로터리 베인 펌프(TRIVAC)가 적합합니다. 경우에 따라서는 1단계 로터리 베인 진공 펌프(SOGEVAC BI) 또는 스크롤 진공 펌프(SCROLLVAC)도 사용할 수 있으며, 로터에 추가 압축 단계(컴파운드 단계)가 장착된 넓은 범위 변형의 경우 다이어프램 진공 펌프(DIVAC)도 사용할 수 있습니다.
특성 수량
펌프 속도(체적 유량)
펌프 속도 "S"는 펌프의 흡입구를 통해 전달되는 체적 유량입니다. 이는 기체의 종류에 따라 달라지므로 공칭 펌프 속도, 즉 펌프의 최대 도달 가능한 펌프 속도는 일반적으로 공기, 질소에 대해 각각 명시됩니다. 고진공 엔지니어링 분야에서는 펌프 속도를 측정 단위[l/s]로 표시하는 것이 일반적입니다. 펌프 속도는 유입구 압력 S = S(p1)의 비선형 함수입니다.
가스 처리량
가스 처리량 "Q"(측정 단위: mbar x l/s)는 유입구 압력을 통한 펌프 속도와 연결됩니다. Q = Q(p1) = p1 * S(p1).
압축
압축 "K"는 터보 분자 펌프의 전진공 측 압력과 고진공 측 압력 사이의 비율로 정의됩니다. K = K(pVV) = pVV/pHV. 압축은 가스 종류에 따라 달라집니다.
최종 압력(기본 압력)
베이크 아웃할 수 있는 터보 분자 펌프의 최종 압력 "펄트"는 측정 배열의 24시간 베이크 아웃(가스 제거) 후 48시간 후에 테스트 챔버에서 도달하는 전진공 압력과 압축비 사이의 비율을 통해 정의됩니다(펄트 = pFV/K0).
도달 가능한 최대 최종 압력은 무엇보다도 장치의 청결도, 사용된 전진공 펌프의 유형, 고진공 플랜지에 사용된 씰의 유형 및 베이크 아웃 조건에 따라 달라집니다.
