LEYSPEC Cart 100 S
| 부품 번호: | 504901V001 |
| Detector type: | Faraday cup |
| Mass filter type: | QMS |
| Mass range (amu): | 1-100 |
| Max operating pressure: | 1 x 10-4 mbar |
| Min detectable partial pressure: | 1 x 10-10 mbar |
| Sensitivity: | 1 x 10-5 A/mbar |
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LEYSPEC Cart 100 S
뛰어난 시인성
Leybold LEYSPEC 카트로 독보적인 가스 분석을 경험해 보세요. 고성능 펌핑 스테이션 TURBO LAB과 LEYSPEC 잔류 가스 분석기의 조합은 압력에 관계없이 효율적이고 유연한 가스 분석을 제공합니다. 또한 미세 도징 UHV 밸브를 사용하여 모든 공정에 연결할 수 있습니다. 잔류 가스 분석 중 깨끗한 작동이 가능한 올메탈 구조로 베이크 아웃이 가능합니다. 따라서 다양한 프로세스 및 어플리케이션에서 이동성이 뛰어나 필요한 곳 어디에서나 수행할 수 있습니다.
한눈에 보는 장점
- 빠른 측정 준비를 위한 터보 펌프 TURBOVAC 250 i 및 건식 배압 펌프 SCROLLVAC 7 Plus가 포함된 펌핑 시스템
- TURBOLAB 펌핑 스테이션을 통한 통합 공정 제어
- LEYSPEC 소프트웨어를 통한 매우 쉽고 직관적인 작동
- 공정 또는 챔버의 어느 지점에서나 모바일 잔류 가스 분석 가능
- 공정 가스에 완전히 집중할 수 있는 베이킹 가능
- 압력에 독립적인 잔류 가스 분석 - 대기압에서도 가능
